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纳米MOS器件中的量子效应分析及其模拟
论文摘要本课题描述了纳米体MOS器件中的量子隧穿效应和能量量子化效应的物理机制,用自洽求解薛定谔-泊松方程组的方法模拟了直接隧穿导致的栅隧穿漏电流和能级量子化导致的栅电容退化。...