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氟化类金刚石薄膜血液相容性的研究
论文摘要用316L不锈钢(SU316L)作基片,以高纯石墨作靶、CHF3和Ar作源气体,采用反应磁控溅射法在不同射频功率、流量比R(CHF3/Ar)下制备了氟化类金刚石(F-D...