压电步进式驱动器论文

压电步进二维精密驱动器理论及实验研究
论文摘要压电步进精密驱动器是以压电器件为驱动元件,利用步进驱动原理实现微米甚至亚纳米级运动的驱动器。本文以实现压电步进二维精密驱动为目标,开展了相应的基础理论、结构设计、实验测...