压电厚膜论文

纳米PZT颗粒的兆赫超声制备及压电力显微研究
论文摘要近年来，压电厚膜的研究引起了人们极大的兴趣，与薄膜相比，厚膜的压电、铁电性能较少受界面、表面等影响，同时较大的厚度能产生更大的驱动力，且具有更宽的工作频率，其中又以PZ...
无铅压电厚膜制备工艺研究
论文摘要众所周知,传统的压电材料（锆钛酸铅）含有大量的铅,在制备和使用过程中,造成了环境污染和对人体的伤害。为了保护我们的环境免受铅污染,开发新的无铅压电材料来替代传统压电材料...
钛酸铋钠钾压电厚膜的制备与性能研究
论文摘要厚度为10-100μm的压电厚膜兼具陶瓷与薄膜的优点,随着电子元器件向小型、高灵敏、集成、多功能方向发展,压电厚膜及器件成为国内外研究热点。本文采用丝网印刷法制备出高致...
基于PZT厚膜的MEMS微变形镜
论文摘要自适应光学技术在地基天文望远镜、星载/机载相机、激光武器、激光通讯和医学检测等领域有着广泛的应用前景。变形镜作为自适应光学系统的核心部件,其微型化是自适应光学系统微型化...