压电马达论文

全压电驱动纳米级宏/微定位系统的研究
论文摘要宏/微驱动定位平台是实现大行程、高精度精密定位的主要实现方式之一。宏动平台完成系统的粗定位,可以有效提高系统运行速度,扩大系统运动范围;微动系统实现精密补偿定位,可以有...