![压电双晶片型微位移放大机构研究]()
论文摘要随着科学技术的发展,精密和超精密驱动机构在精密制造、超精密加工、生物工程、医疗机械和芯片制造等领域应用越来越广泛,新型的驱动方式正逐步成为研究的主流。由于压电驱动器具有...
![智能结构驱动技术及环境污水新型监测方法的研究]()
论文摘要自适应智能结构是把基体材料、传感和驱动材料以及微电子处理控制系统集成或融合在一起的一个整体。这个整体不仅具有承受载荷、传递运动的能力,而且具有检测、动作、改变结构的特性...
![OCT扫描方法及装置的研究]()
论文摘要光学相干层析技术(OpticalCoherenceTomography)简称OCT,是近几十年迅速发展起来的,继超声波、X射线计算机断层摄影(XCT)、核磁共振成像(M...
![基于MEMS技术的自吸微泵的研制]()
论文摘要微型泵是微流体控制系统的重要组成部件，在生化分析、药物输送、芯片冷却等领域都有着广泛的应用前景，已成为MEMS研究领域中的热点课题之一。本文利用MEMS加工技术，成功地...
![压电双晶片型二自由度惯性冲击式精密驱动器理论与实验研究]()
论文摘要本文分析了压电型精密驱动器的研究现状,结合国家863计划项目、国家自然科学基金项目和高等学校博士学科点专项科研基金项目,提出了以悬臂式压电双晶片为驱动元件,利用惯性冲击...
![压电式粘滑精密运动机构驱动理论与实验研究]()
论文题目:压电式粘滑精密运动机构驱动理论与实验研究论文类型:博士论文论文专业:机械电子工程作者:华顺明导师:程光明,杨志刚关键词:压电双晶片,精密驱动,粘滑作用,精密运动机构,...
