![一种六自由度微定位工作台位姿控制新方法研究]()
论文摘要本文研究了一种在四层平板之间并列分布多个压电陶瓷驱动器,通过控制压电驱动器产生微驱动,最终实现六自由度微定位的新方法。本文的主要研究工作包括:①在分析研究国内外现有微定...
![多尺度微/纳米定位系统的设计、分析及试验研究]()
论文摘要随着纳米技术的不断发展,高精密的定位精度已从毫米(mm)级、微米(μm)级向纳米(nm)级发展,微机器人、MEMS系统、光学精密工程、航空航天及生物医疗等高精密领域,迫...
![面向生物工程的精密定位机构及其动力学特性研究]()
论文摘要精密定位技术在一定程度上体现了一个国家的制造水平和科技实力。随着生物医学的快速发展,基于精密定位技术的显微操作技术在细胞操作领域也得到了大力发展。由于细胞操作的特殊性,...
![AFM压电驱动器建模与控制研究]()
论文摘要在人类探究微观世界的过程中,微定位技术逐步发展起来。原子力显微镜作为一种微显微成像与微纳米操控的设备,其原子级的分辨率使得纳米科技获得了蓬勃发展。目前的商用原子力显微镜...
![六自由度纳米工作台驱动控制方法及系统研究]()
论文摘要微位移驱动技术是精密测量与精密制造的关键技术之一。随着微纳制造技术的快速发展,需求纳米级驱动控制技术的领域越来越多。本学位论文选题来源于国家自然科学基金“纳米三坐标测量...
![二维超精工件台及其控制系统的研究]()
论文摘要精密定位是现代高新科学领域最为关键和共性的基础技术之一,在尖端工业生产和科学研究中占有极其重要的地位,具有广阔的应用前景。为此,本文在设计基于柔性铰链的二维超精微动工件...
![基于动态应用的宽频带压电陶瓷驱动电源的研究]()
论文摘要随着科学技术的发展和研究领域的不断扩展,操作对象已从宏观领域深入到微观领域。为完成微细电火花加工、内燃机燃油喷射、扫描探针电子显微镜的高速扫描、打印机及复印机的压电喷墨...
![压电陶瓷驱动器迟滞补偿方法研究]()
论文摘要压电陶瓷驱动器被广泛应用于超精密定位系统中。这种驱动器在拥有高刚度、高频响和高分辨率等优点的同时,也存在迟滞、蠕变等缺点。压电陶瓷驱动器的迟滞特性使驱动电压与输出位移之...
![基于并联机构的平面3自由度微动工作台的研究]()
论文摘要本文结合一种宏观平面3-RRR并联机器人的研制，建立了全柔性微动工作台的模型。设计该柔性机构时，通过采用免装配、无间隙和无摩擦的柔性铰链代替实际的转动副以及压电陶瓷驱动...
![纳米级微定位平台的设计及实验研究]()
论文题目:纳米级微定位平台的设计及实验研究论文类型:硕士论文论文专业:机械制造及其自动化作者:杨立斌导师:张大卫关键词:微定位平台,超精密磨削,动力学建模,压电陶瓷驱动器,有限...
