压电微电机论文

压电双晶梁在微电机及微力传感器上的应用研究
论文摘要压电式传感器和执行器具有结构简单、响应速度快、高频适用性强、驱动和处理电路简单等特点,在超声检测、精密位移和定位、声学及力学量的检测等方面已经得到了广泛的应用。压电双晶...