压电微悬臂梁论文

用于气体测量的压电微悬臂梁力学建模与实验研究
论文摘要微悬臂梁作为最简单的一种MEMS器件,最早应用于扫描探针显微镜进行微小力和表面形貌的检测。近年来,由于其结构尺寸小、灵敏度高、响应速度快和成本低等优点,微悬臂梁在微纳传...