压电执行器论文

微小管道机器人用惯性式压电执行器的研究
论文摘要微机器人是在微细加工技术和微型机械电子产品基础上迅速发展起来的一个多学科交叉的前沿研究领域,是微机电系统发展的高级形式。微执行器、微传感器、微能源和控制系统的高度集成是...