压电作动器论文

光学移相干涉仪智能抗振平台关键技术研究
论文摘要光学移相干涉术(PSI)是一种高精度、高灵敏度、非接触式光学测试方法,易受外界环境振动的影响,外界环境振动是移相干涉仪测量误差的主要来源之一。本论文针对环境振动对移相干...