压膜阻尼论文

基于体硅工艺的MEMS疲劳试验装置设计、分析与制备
论文摘要近年来,随着MEMS器件在医药、汽车和航空等各个领域的广泛应用,其可靠性问题引起了人们越来越多的重视。疲劳作为MEMS器件的主要失效模式,成为微机电系统可靠性领域的研究...
微板多物理场耦合非线性动力学研究
论文摘要静电驱动是微机电产品中广泛使用的驱动方式,微板是MEMS产品设计中一种典型的结构元件。静电驱动MEMS器件在工作中存在静电场力与微构件机械振动之间的机电耦合及机电流体耦...
硅微机械加速度计零位偏移的影响因素研究
论文摘要目前已受到国内外广泛关注的硅微机械加速度计,有许多极具诱惑力的特殊优点,但硅微机械系统普遍存在零位偏移大、启动时间过长、动态性能差的缺点,而由于其体积小,干扰因素多,直...
RF MEMS可变电容及压控振荡器的研究
论文摘要近年来，随着无线通信系统的飞速发展，对低相位噪声压控振荡器(VCO)的需求也同益增加。VCO的调谐能力通常由可变电容来实现，要获得低相位噪声，需要高Q值的片上可变电容。...