掩蔽氧化论文

六硼化镧场发射特性研究
论文摘要以场致发射理论为基础的真空微电子器件（VMDs），因其具有体积小、功耗低、电压低、速度快、抗辐射及工作温度范围宽等显著的特点而倍受人们的关注。场发射阴极是真空微电子器件...