氧反应离子刻蚀论文

（类）金刚石薄膜的微细加工、表征及其在ICF靶制备中的应用
论文摘要金刚石薄膜具有高熔点、高热导率、高硬度、绝缘性好、抗腐蚀性强、介电常数小、宽带隙、抗辐射、化学稳定性好等一系列无与伦比的优异性能,是一种应用潜力巨大的新型功能材料。除了...