氧化铬薄膜论文

氧化铬薄膜的生长机理及力学性能表征
论文摘要本论文采用射频反应磁控溅射方法制备了氧化铬硬质薄膜,利用X射线、X光电子能谱（XPS）、扫描电镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、透射电镜（TEM）研究了氧化铬薄膜微...