氧化硅薄膜论文

大气压非平衡等离子体沉积类二氧化硅薄膜研究
论文摘要二氧化硅薄膜具有高硬度、耐磨、高光透过率、强的抗侵蚀能力以及良好的介电性能,因此在诸多领域得到了很好的应用。针对不同用途的氧化硅薄膜,各种新的沉积技术不断涌现。而大气压...