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张洪波:原子层沉积技术:催化剂合成与修饰新工艺(英文)论文
本文主要研究内容作者张洪波(2019)在《原子层沉积技术:催化剂合成与修饰新工艺(英文)》一文中研究指出:近年来,原子层沉积(ALD)技术以其精准的材料合成及修饰特性(精确到原...