氧化铪论文

808nm半导体功率放大激光器增透膜研究
论文摘要808nm半导体激光器是以AlGaAs晶体的(110)自然解理面作为谐振腔。本论文采取在半导体激光器芯片的前端面镀增透膜,并在半导体激光放大器的前、后两个腔面镀增透膜,...
SiC/Si异质结构和HfO2高κ薄膜制备及其性能研究
论文摘要宽带隙半导体材料和高介电常数材料是当今微电子领域的前沿研究课题。SiC是宽带隙半导体的核心材料之一，但其体材料制备较难、价格偏高，严重制约SiC基器件的实际应用。在众多...