氧化铝薄膜论文

论文摘要由于迟滞现象的存在以及Al2O3薄膜自身特性的影响使得直流反应溅射制备Al2O3薄膜的工艺过程不稳定并且难以控制。迟滞曲线对于研究靶的溅射状态和镀膜工作点的选取具有重要...

论文摘要由于超薄氧化铝薄膜在微电子方面的应用越来越广泛,所以对它的制备方法的研究和改良也越来越吸引人们去研究。目前以金属有机源为单体制备超薄氧化铝薄膜的方法主要有原子层沉积（A...

论文摘要本论文分为两部分,一是在激光和等离子体特性研究的基础上进行激光和等离子体的应用探索,利用基于电子回旋共振（electroncyclotronresonance,ECR）...

本文主要研究内容作者许烁烁,陈特超,禹庆荣,刘舟（2019）在《氧化铝钝化膜沉积工艺研究》一文中研究指出：采用平板式等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备,开展氧化铝（Al...