氧化钛薄膜论文
脉冲偏压辅助PECVD超憎水TiO2薄膜及其湿润性的研究
论文摘要近年来,水的接触角为150°以上的超憎水性薄膜,因为在生活和工业方面具有非常显著的自清洁应用而引起了越来越多的关注。二氧化钛薄膜拥有光催化性能,在紫外光的照射下可以分解...脉冲偏压电弧离子镀沉积TiO2与AlN介电薄膜
论文摘要介电薄膜是应用最广泛的一类功能薄膜,在机械、电子、信息、航天等领域起着越来越重要的作用。但由于其导电性能不好,给它们的沉积制备带来了难度。比如采用最为常用的PVD技术之...脉冲激光沉积纳米氧化钛薄膜及其光催化性能的研究
论文摘要本文以TiO2薄膜为主要研究对象,在研究其制备工艺的同时为实现提高TiO2薄膜的可见光光催化活性的目的进行了一系列的实验,其中包括混晶结构TiO2薄膜,N掺杂TiO2薄...