氧化钽论文

论文题目:TaO_X快离子导体薄膜的制备与掺杂性能研究论文类型:硕士论文论文专业:材料学作者:吕佳导师:黄佳木关键词:离子导体,射频反应磁控溅射,氧化钽,锆掺杂,非晶态薄膜文献...