氧化银薄膜论文

掺磷纳晶硅薄膜的制备及相关特性研究
论文摘要等离子体增强化学气相沉积方法（PECVD）是制备薄膜材料的几种方法中技术最为成熟、操作较为简单的一种，并且可以制备均匀性高的大面积薄膜。但是采用PECVD方法沉积优质多...