氧化增强注氧隔离技术论文

论文题目:SGOI材料的SIMOX制备技术研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:陈志君导师:张峰关键词:掩盖注氧隔离技术,氧化增强注氧隔离技术,绝缘体上的锗...