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薄膜杨氏弹性模量及泊松比的测试理论研究
论文摘要薄膜在许多先进技术中有着广泛的应用。电子和生物材料的飞速发展,需要对许多超薄膜给出精细的力学表征,以便对薄层结构的力学行为有一个更好的理解,从而确保结构的可靠性、结构稳...