氧氩比论文

磁控溅射制备AZO薄膜及其透明导电性质研究
论文摘要为了寻求一种价格低廉、环保且性能优异的透明导电薄膜材料,本文采用直流反应磁控溅射法以Zn-Al合金靶（Znwt%:Alwt%98.5:1.5）为靶材,在普通玻璃衬底上制...
ZAO靶材及薄膜的研究
论文摘要氧化锌（ZnO）是一种具有六方纤锌矿晶体结构的宽禁带II-VI族半导体材料,由于其优良的特性,在太阳能电池、紫外探测器、声表面波器件、气敏传感器、透明电极等方面得到了广...