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压电悬臂梁式质量传感器结构设计
论文摘要压电悬臂梁传感器是一种将微力信号转换成电信号的装置。该传感器具有尺寸小、灵敏度高、携带方便、反应速度快及易于集成等优点,所以得到极其广泛的应用。用于检测微小质量是压电悬...