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基于半固着磨具的蓝宝石延性域加工基础研究
论文摘要蓝宝石(α-alumina,Al2O3)是典型的硬脆先进陶瓷材料,作为优良的衬底材料,具有良好的物理和化学性质,普遍用于高速IC芯片、薄膜衬底和各种电子和机械元件。随着...