压阻薄膜论文

Cr-Si系薄膜的制备及超高压压力传感器的研制
论文摘要柴油机电控高压共轨喷射系统由电控系统和燃油供给系统两部分组成,电控系统由传感器、电子控制单元（ECU）和执行机构三部分组成。传感器是共轨系统核心组成部分之一,而轨压传感...