压阻检测论文

MEMS压阻式三维微触觉力传感器的研究
论文摘要随着微米/纳米技术的迅速发展,科学研究的对象不断向微小化发展,微小精密机械零件的装配、微机电系统(MEMS)器件的组装、单细胞操作、扫描探针显微镜等领域中无不存在着微小...
硅基集成式微型平面纳米级定位系统的研究
论文摘要面向微纳操作的微小型机器人作为一种典型的微机电装置,具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高、能够进入一般机械系统无法进入的狭小作业空间进行检测和维护等特点,在微纳操作领域...
基于压阻检测的双端固支硅纳米梁研究
论文摘要NEMS谐振器作为痕量传感器在生化检测等领域应用获得广泛关注，而纳米尺度下器件的谐振特性检测成为一个关键技术问题。在硅基谐振器特性的主要检测方法中，压阻检测方法因易于实...