压阻系数论文

机械式微压力传感器的稳健设计研究
论文摘要随着半导体技术的发展,微压力传感器已向半导体化和集成化方向发展。本文主要对微压力传感器的相关部分进行设计上的探讨。论文的主要内容如下：1、对机械式微压力传感器的部分参数...