液态金属离子源论文

纳米聚焦离子束系统液态金属离子源的研制
论文摘要聚焦离子束（FocusedIonBeam-FIB）技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。它大大提高了微电子工业材...