液态源雾化化学沉积论文

论文题目:RF磁控溅射及LSMCD法制备铁电薄膜的研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:樊攀峰导师:张之圣关键词:铁电薄膜,射频磁控溅射,均匀设计,液态源雾...