液体微流喷射靶论文

液体微流喷射靶激光等离子体软X射线—极紫外光源研究
论文摘要摘要激光等离子体（LPP）光源作为一种新型的软X射线光源,其研究始于二十世纪七十年代。随着极紫外投影光刻以及辐射计量等应用领域对光源的要求的不断提高,LPP软X射线-极...