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膜-基界面的结构表征及能量计算
论文摘要对于薄膜特别是柱状晶薄膜,当晶粒在膜平面内的尺寸大于膜厚时,柱状晶粒的上底面(即自由表面)和下底面(即膜-基界面)的面积将大于侧面(即晶界面)的面积,因此薄膜中的晶粒生...