异常因子论文

硅晶片缺陷模式分析研究
论文摘要微电子技术飞速发展,导致芯片关键尺寸不断下降,集成电路制造工艺也在不断进步。生产工艺越复杂,硅晶片出现缺陷的概率就越大。通常半导体制造商为追求投资回报率,需要将成品率控...