应变反馈式压电驱动器论文

压电驱动器非线性校正技术研究
论文摘要随着各行各业对高精度定位的需求的增加，压电精密定位技术得到了越来越广泛的应用，随之也出现了许许多多要解决的问题。其中，压电驱动定位系统的非线性特性对定位精度的影响最为显...