铟硅共掺杂论文

论文摘要利用有机金属化学气相沉积（MOCVD）的方法,在高质量的铝氮（AlN）模板和铝氮/铝镓氮超晶格（AlN/AlGaNSLs）上,通过改变[TMA/（TMa+TMG）]的流...