硬质薄膜论文

磁控溅射离子镀TiN、TiAlN膜的制备及性能研究
论文摘要磁控溅射离子镀技术（MSIP）在薄膜沉积领域应用非常广泛,所制备的涂层具有质量好、薄膜-基体结合强度高、可设计性强等优点,改善了切削刀具、钻头等工具服役性能和寿命。Ti...
反应磁控溅射镀制（Ti，Nb）N硬质薄膜的研究
论文摘要本课题的目的是在剃须刀片刃口上镀制一层硬质薄膜,以提高刀片的锋利度和使用舒适性,并对所镀制的硬质薄膜工艺参数、性能进行研究。本文首先对硬质薄膜的发展作了概述,着重综述了...
离子束辅助真空电弧沉积TiN/CNx薄膜的研究
论文摘要本文研究了采用钛/石墨复合靶和钛/甲烷/氮气真空电弧沉积法,利用Bulat-6多弧离子镀膜机在不同的工艺参数下制备了TiN/CNx复合薄膜,并用X射线衍射仪、扫描电子显...
脉冲偏压电弧离子镀（TiMe）N多元复合硬质薄膜研究
论文摘要本文对脉冲偏压电弧离子镀（TiMe）N多元复合硬质薄膜进行了研究,选用电负性与Ti元素存在不同程度差异的过渡金属Nb、Cr、Zr作为添加元素,在其它工艺参数相同的条件下...