硬质复合薄膜论文

中频非平衡磁控溅射制备硬质复合薄膜的研究
论文摘要目前,薄膜技术正朝着多元化、梯度化、复合化的方向发展。提高薄膜体系力学性能的有效工艺手段之一是制备多层复合膜,并在考虑多层复合膜构成组元的性质和沉积条件相关性的基础上优...