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钟利:预溅射时长对TiN镀层成膜情况的影响研究论文
本文主要研究内容作者钟利,陈美艳,沈丽如(2019)在《预溅射时长对TiN镀层成膜情况的影响研究》一文中研究指出:为了研究预处理阶段工艺参数对镀层性能的影响,采用阴极弧离子镀方...