阴极弧论文

真空脉冲弧光放电装置的设计与研究
论文摘要磁过滤脉冲阴极弧制备薄膜是当今一种新型的薄膜制备方式。本文主要论述了对脉冲阴极弧放电装置,以及其控制系统,采集系统的研究,此外还对真空室的建立,改进工作做了相关的叙述。...