音圈式直线电机论文

基于音圈式直线电机的位置伺服控制系统研究
论文摘要为了满足现代先进制造与加工技术的需要,提高生产效率和改善零件的加工质量,超精密加工现已成为高档数控机床发展的一个重大趋势,由于传统的机床进给系统存在传动机构而难以达到高...