• 新型纳米器件的电学特性和可靠性研究

    新型纳米器件的电学特性和可靠性研究

    论文摘要集成电路按照摩尔定律和按比例缩小的规律持续发展。在器件小型化的过程中,出现了许多新的问题。其中,纳米MOSFET的关键可靠性问题:偏压温度不稳定性(BiasTemper...