圆光栅论文

惯性测试转台的圆光栅测角模块和摩擦补偿研究
论文摘要为了满足新一代高精度惯性传感器的测试要求,需要研制更高精度的惯性测试转台。本文以测角精度为0.5″的惯性测试转台为背景,以实验室某单轴原型转台为实验平台,重点研究了圆光...
圆光栅回转式压电微角度执行器的研究
论文摘要微位移驱动技术是当今世界各国研究的热点问题,是纳米测量及加工技术中的关键技术之一,随着科学技术的发展,需要高精度、高分辨力、能够灵活控制的微位移驱动及检测系统,用以直接...