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电容湿度传感器性能研究
论文摘要随着湿度在我们日常生活中起着越来越重要的作用,人们对湿敏器件的研究也如火如荼。近年来,由于湿敏电容器具有灵敏度高、响应快、滞后量小、且容易实现小型化和集成化等众多优点而...