源漏击穿电压论文

SOI高压工艺下器件的特性表征与分析
论文摘要本课题依据国家科技重大专项“02专项-极大规模集成电路制造技术及成套工艺”的子课题-“SOI工艺平台下器件的表征与分析”的要求完成整个项目,以SOI600VLDNMOS...