圆片级论文

RF MEMS开关封装技术的研究
论文摘要RFMEMS开关是RFMEMS器件中最有发展潜力的器件之一,但开关的可靠性和封装等问题阻碍了开关的发展。本文针对RFMEMS开关封装所带来的难点问题首先进行了电学模型分...