原子层沉积论文

论文摘要ZnO因为具有较大的激子束缚能（大约60meV）,使其在紫外发光二极管和激光二极管方面具有了很好的应用前景。但是由于p型ZnO的不稳定性,导致ZnO的同质结很难得到。虽...

论文摘要在对更快、更小和更高性能的电子设备的需求驱动下,微电子工业高速发展。集成电路的特征尺寸以及用于不同电路之间连接的印刷电路板的尺寸都在不断缩小,使得很多传统微电子材料与技...

论文摘要由于表面与界面效应、量子尺寸效应、宏观量子隧道效应等存在,纳米材料在能源环境、信息、生物等领域内展现出巨大的应用前景,其制备与性能研究已成为国际上最为活跃的领域之一工业...

论文摘要由于超薄氧化铝薄膜在微电子方面的应用越来越广泛,所以对它的制备方法的研究和改良也越来越吸引人们去研究。目前以金属有机源为单体制备超薄氧化铝薄膜的方法主要有原子层沉积（A...

本文主要研究内容作者余夏辉（2019）在《低维黑磷的制备及其性能研究》一文中研究指出：低维纳米材料由于其尺寸较小,与同组分的体材料相比具有一些独特的性能,如表面效应、小尺寸效应...

本文主要研究内容作者张洪波（2019）在《原子层沉积技术:催化剂合成与修饰新工艺（英文）》一文中研究指出：近年来,原子层沉积（ALD）技术以其精准的材料合成及修饰特性（精确到原...