预键合方案论文

多层硅硅直接键合实验研究
论文摘要随着MEMS技术的发展,直接键合技术由于其较好的键合质量,以及相对于其他键合技术对被键合材料的限制较少,受到了广泛的关注。但现在大部分的研究均集中在键合理论研究本身,工...