匀胶论文

轨道式涂胶显影设备工艺原理及控制系统设计研究
论文摘要随着国内集成电路产业的不断快速发展,国内传统的二线芯片厂家及一些军工研究所也不断发展新工艺,扩大产能,带来了比较大的设备需求,而在涂胶显影设备方面可供选择有限,一方面国...